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        RS-100全自動防塵半導體行業點膠系統
        • RS-100全自動防塵半導體行業點膠系統

        RS-100全自動防塵半導體行業點膠系統

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        產品概覽

        核心優勢


        良率提升:工作機位作業前后檢測,末站專業檢測,實現多重防呆。
        全自動化:同時配備自動上料機、自動下料機,匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢。
        防止整線宕機:作業軌/傳輸軌分離,單臺停機不影響整線運行。
        滿足信息化管理需求:實時MES系統對接,上傳生產狀態信息,系統異常狀態報警。支持SECS/GEM半導體通訊協議。

        嚴格溫控:在晶圓流轉與作業全過程中對溫度進行精細管控并自動校正,滿足CUF工藝需求的同時,保障產品生產。



        滿足嚴苛的工程條件要求
        百級防塵設計?專用于環保車間(通過建模與仿真,配置防塵部件及線纜,氣體過濾等);
        ESD防靜電設計(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標準) ;
        防震動(礦物質框架,具有良好吸震性,有效減少高速運動帶來的沖擊)。



        系統組成


        規格參數

        RS-100

        基本參數

        外形尺寸 mm

        960×1240×1467(W*D*H)

        重量 kg

        標準機:900

        用電需求

        電壓220V,50HZ,電流16A

        氣壓需求MPa

        最小氣壓0.6

        設備功耗W

        ≦2500

        有效行程 mm

        X550*Y510

        軌道高度mm

        900±30

        軌道承重(含載具)Kg

        4.5

        最大基板厚度 mm

        5.5

        軸數

        X、Y、Z

        驅動方式

        X/Y/Z軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿

        定位精度

        ±15um(X\Y);±15um(Z)

        重復精度

        ±10um(X\Y);±10um(Z)

        最大速度mm/s

        1000(X/Y);300(Z)

        最大加速度

        1g(X/Y);0.3g(Z)

        視覺定位系統

        工業CCD

        計算機及軟件

        Windows 系統開發下軟件

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